Proffil Ffotodrydanol DRK8090
Mae'r offeryn hwn yn mabwysiadu dull mesur interferometrig symud cam optegol di-gyswllt, nid yw'n niweidio wyneb y darn gwaith yn ystod y mesuriad, yn gallu mesur graffeg tri dimensiwn micro-dopograffeg arwyneb gwahanol ddarnau gwaith yn gyflym, a dadansoddi a chyfrifo'r mesuriad. canlyniadau.
Disgrifiad o'r Cynnyrch
Nodweddion: Yn addas ar gyfer mesur garwedd wyneb gwahanol flociau mesur a rhannau optegol; dyfnder y reticle y pren mesur a'r deial; trwch cotio strwythur y rhigol gratio a morffoleg strwythur y ffin cotio; wyneb y ddisg magnetig (optegol) a'r pen magnetig Mesur strwythur; garwedd wyneb waffer silicon a mesur strwythur patrwm, ac ati.
Oherwydd cywirdeb mesur uchel yr offeryn, mae ganddo nodweddion mesur di-gyswllt a thri dimensiwn, ac mae'n mabwysiadu rheolaeth gyfrifiadurol a dadansoddiad cyflym a chyfrifo canlyniadau mesur. Mae'r offeryn hwn yn addas ar gyfer pob lefel o unedau ymchwil profi a mesur, ystafelloedd mesur menter diwydiannol a mwyngloddio, gweithdai prosesu manwl, a hefyd yn addas ar gyfer Sefydliadau sefydliadau dysgu uwch ac ymchwil wyddonol, ac ati.
Y prif baramedrau technegol
Mesur ystod dyfnder anwastadrwydd microsgopig arwyneb
Ar wyneb di-dor, pan nad oes uchder newid sydyn yn fwy na 1/4 tonfedd rhwng dau bicseli cyfagos: 1000-1nm
Pan fo treiglad uchder sy'n fwy na 1/4 o'r donfedd rhwng dau bicseli cyfagos: 130-1nm
Ailadroddadwyedd mesur: δRa ≤0.5nm
Chwyddiad lens gwrthrychol: 40X
Agorfa rifiadol: Φ 65
Pellter gweithio: 0.5mm
Maes golwg offeryn Gweledol: Φ0.25mm
Llun: 0.13 × 0.13mm
Chwyddiad offeryn Gweledol: 500 ×
Ffotograff (arsylwyd gan sgrin cyfrifiadur)-2500 ×
Arae mesur derbynnydd: 1000X1000
Maint picsel: 5.2 × 5.2µm
Amser mesur samplu (sganio) amser: 1S
Adlewyrchedd drych safonol offeryn (uchel): ～50%
Myfyrdod (isel): ～4%
Ffynhonnell goleuo: lamp gwynias 6V 5W
Tonfedd hidlo ymyrraeth gwyrdd: λ≒530nm
Hanner lled λ≒10nm
Prif lifft microsgop: 110 mm
Lifft bwrdd: 5 mm
Ystod symudiad i gyfeiriad X ac Y: ～10 mm
Amrediad cylchdro o bwrdd gwaith: 360 °
Amrediad tilt o fwrdd gweithio: ± 6 °
System gyfrifiadurol: P4, 2.8G neu fwy, arddangosfa sgrin fflat 17 modfedd gyda 1G neu fwy o gof
